微細加工

サブミクロン素子への展開

微細加工
著者 中野 朝安
星野 洋
小松 良策
ジャンル 電子・通信
出版年月日 1989/03/01
ISBN 9784501313302
判型・ページ数 A5・250ページ
定価 本体2,700円+税
在庫 品切れ・重版未定

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 微細加工の歴史的な経緯およびその技術を解説。半導体プロセス,製造装置に関する入門書 。
1 まえがき
2 微細加工の歴史
3 微細加工
4 半導体の微細加工
5 微細加工の発達
6 成膜技術
7 大規模集積回路の作成法
8 集積回路の設計
9 微細加工の限界

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